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山东精密仪器精密温控 创新服务 南京拓展科技供应

上传时间:2025-11-09 浏览次数:
文章摘要:作为南京拓展科技旗下专注于微环境控制技术的关键企业,极测(南京)技术有限公司打造的超精密仪器室,通过集成自主研发的高精密微环境控制系统,为光刻机、立式干涉仪等精密仪器构建了温度波动极小、洁净度极高(洁净恒温)的理想工作环境,精密仪

作为南京拓展科技旗下专注于微环境控制技术的关键企业,极测(南京)技术有限公司打造的超精密仪器室,通过集成自主研发的高精密微环境控制系统,为光刻机、立式干涉仪等精密仪器构建了温度波动极小、洁净度极高(洁净恒温)的理想工作环境,精密仪器室成为支撑高精度测量与科研生产的关键基础设施。
纳米级温控,超高精度温度波动极测运用自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达 0.1%,使得环境内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。实现±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等级精度的温度控制。为精密仪器打造高精密恒温稳定操作环境。 蕞高ISO class1级洁净,打造无尘空间精密仪器室系统可实现百级以上洁净度控制,蕞高优于 ISO class3(设备工作区),达到ISO class1,避免灰尘等污染物影响光线传播。设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题,延长精密仪器使用寿命。 全场景非标定制,满足多元化需求精密仪器室可根据用户需求,满足用户不同的温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等多样化的个性要求,保证用户的正常使用。
极测(南京)致力于为全球企业提供定制化的环境控制解决方案,以严格的温湿度与洁净度标准。山东精密仪器精密温控

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极测的精密温控箱罩专为满足三坐标测量仪等精密设备的严苛环境需求而设计。其具备的 ±0.002℃高精密温度控制能力,犹如为三坐标测量仪构建了一个恒温 “堡垒”。精密温控箱罩运用自主研发的高精密控温技术,确保精密温控箱罩内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。保证测量仪在长时间运行过程中始终保持稳定的测量精度,实现0.1% 的控制输出精度。除了温度控制,精密温控箱罩在湿度和洁净度方面同样表现。精密温控箱罩内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,避免了因湿度问题导致的测量仪零部件生锈、电子元件短路等故障,延长了设备使用寿命。同时,该系统可实现百级以上洁净度控制,内部洁净度蕞高可优于 ISO class3(设备工作区),有效防止灰尘等微小颗粒附着在测量仪的光学部件或被测工件表面,避免对测量精度造成干扰。上海精密温控设备智能化极测(南京)高精密环控设备用于芯片加工、元器件组装等场景,避免热应力对精密元件的影响,提升良品率。

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在光学领域,干涉仪扮演着无可替代的 “基准量具” 角色。其测量精度直接受到工作环境的影响,包括温度、湿度、气压波动等影响因素,尤其是温度控制的细微偏差,都可能成为测量结果失准的 “系统性误差源”。极测(南京)自研生产的精密环控系统,为干涉仪打造稳定的外部运行环境,包括精密温度控制,以及湿度稳定性,气压稳定性,噪声等。同时针对内部腔体区域采用局部气浴的模式,保证内部检测腔环境的稳定性,是许多半导体企业的选择。

高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品,主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供招高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。温度稳定性蕞高可达±0.002°C,湿度稳定性蕞高可达±0.3%RH,洁净等级蕞高可实现 ISO class 1级。光学仪器对温湿度、洁净度、抗微振等有严格的要求,主要源于光学仪器的高精密性和对生产环境的敏感性。

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精zhun定位客户之需为先导,高效执行确保质量至上为关键,极测(南京)致力于为客户提供定制化的服务方案。我们灵活应变,以创新为驱动引擎,不断突破技术边界;同时,持续跟踪项目进展,确保服务无忧,赢得客户长久信赖。秉承诚信为本的经营理念,我们与客户携手并进,共铸行业辉煌,成为一家深度赋能行业、广受赞誉的高精密环境服务商。我们深知,专业的售后服务是保障客户设备稳定运行、提升客户满意度的重要一环。因此,我们特别组建了一支单独且专业的售后服务团队,以全mian、高效、专业的服务,确保您的设备始终处于优良状态。半导体洁净室中通常温度需要严格控制在20°C至25°C范围内,且温度波动不能超过±1°C。山东膜厚测量仪精密温控

极测(南京)精密环控柜满足用户不同温湿度稳定性、洁净度,气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。山东精密仪器精密温控

在高精密实验中,环境波动带来的影响不容忽视。温度波动会导致实验区域内温度分布不均匀,影响实验结果的准确性和重复性;湿度变化会干扰生物实验、材料老化实验等的进程;空气扰动会对微观实验样本造成物理性干扰,改变宏观实验装置或样品的位置或姿态;还会影响光学仪器、精密天平的精度,引入灰尘颗粒、有害气体等杂质和污染物。 而精密环控系统对空气扰动和漂移扰动的抑制效果明显。数据显示,精密环控系统开启后,0.05Hz、0.15Hz、1Hz 频率点累计误差幅值下降幅度分别降低 98.03%、86.07%、85.83%,漂移扰动得到明显抑制,波动范围下降约 50%、标准差减小 45%。同时,温度波动对超快激光参数影响重大,当环境温度变化超过 0.8℃时,脉宽会出现呼吸现象,影响超快激光器的性能,而温度越稳定激光的参数越好。山东精密仪器精密温控

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