在光学领域,干涉仪扮演着无可替代的 “基准量具” 角色。其测量精度直接受到工作环境的影响,包括温度、湿度、气压波动等影响因素,尤其是温度控制的细微偏差,都可能成为测量结果失准的 “系统性误差源”。极测(南京)自研生产的精密环控系统,为干涉仪打造稳定的外部运行环境,包括精密温度控制,以及湿度稳定性,气压稳定性,噪声等。同时针对内部腔体区域采用局部气浴的模式,保证内部检测腔环境的稳定性,是许多半导体企业的选择。系统由设备主柜体、洁净过滤系统、局部气浴、控制系统、气流循环系统、制冷(热)系统等组成。安徽极测(南京)精密温控
极测(南京)技术有限公司注重设备的稳定性和可靠性。通过严格的质量检测和优化设计,确保设备在长时间运行过程中保持稳定性能,减少故障发生的概率。同时,极测还提供完善的售后服务,及时响应客户的需求,为客户解决设备使用过程中遇到的问题。 作为精密温控设备供应商,极测(南京)始终将守护半导体制造精度作为使命。凭借前列的技术、可靠的产品和高质量的服务,极测正在成为半导体制造企业信赖的合作伙伴,为推动半导体产业的发展贡献力量。北京精密温控舱智能闭环监控:内置自动安全保护系统,异常情况即时响应,故障自动处理机制确保设备 7x24 小时无忧运行。
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在实际应用中,极测的温控设备已经在众多半导体制造企业中发挥了重要作用。某有名芯片制造企业在引入极测的温控设备后,光刻工艺的精度得到了明显提升。由于温度控制更加精zhun,芯片上的电路图案更加清晰、准确,有效减少了因温度问题导致的图案偏差和缺陷,产品良率大幅提高。现已服务多家芯片半导体前列企业与国家重点实验室。 同时极测(南京)具备全场景非标定制能力。可根据不同客户的需求根据温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等个性化参数,进行灵活定制。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求.
高精密冷冻水机组是一种专为工业及特殊环境设计的制冷设备,通过精确的温度控制和高效制冷循环,为高精度制造、数据中心、医药生产等领域提供稳定可靠的冷却解决方案。其关键特点在于高能效、低波动性及智能化控制,满足严苛的温控需求。极测(南京)技术有限公司采⽤⾃研温控技术,高精密冷冻水机组冷冻⽔的出⽔温度蕞⾼精度可达±0.002℃。高精密冷冻水机组采用国际有名品牌压缩机,配套高质量高效能铜管制作的板式换热器及有名品牌电气元器件。使机组具有精度高、体积小、噪音低、寿命长、操作简便、高效节能等优点。高精密冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块,准确测量实验舱内实时的温湿度数值并传输给控制器,冷冻水阀无级调节、无级调节电加热器、模拟量控制加湿器可根据实际实验舱需求调节输出功率。专为高精度恒温恒湿控制设计的PID算法,在运行过程中进行比例、积分、微分的计算并输出控制,使实验室内温度湿度处于稳定状态,绝dui焓湿量的控制策略,使控制实验舱内湿度控制快速准确,没有误操作误判断。系统采用高精密控温算法,能将设备工作区域的温度波动控制在±0.002℃范围内(静态工况下可达±2mK)。重庆激光设备精密温控
半导体生产过程中使用的许多材料对湿度也非常敏感。例如,光刻胶在高湿环境下容易吸湿,影响其固化效果。安徽极测(南京)精密温控
毫开尔文级控制:精密温控设备采用闭环气流循环系统,通过EC风机驱动气流以精密算法规划的路径均匀覆盖设备内部,实现关键区域温度波动控制在±2mK(静态),温度均匀性<16mK/m
动态响应机制:自主研发的高精密控温技术实现0.1%的控制输出精度,精密温控设备对外界环境变化实现毫秒级响应
洁净度标准:让尘埃无处遁形超越传统的洁净标准:精密温控设备通过多层高效粒子过滤器与动态气流管理,工作区洁净度达ISOClass3标准及以上,远超传统实验室的ISOClass5标准
微粒拦截:精密温控设备可拦截直径0.3μm的尘埃颗粒,杜绝因微粒污染导致的集成电路短路或光学传感器失效智能生态:看得见的稳定,可追溯的精zhun
环境“心电图”:精密温控设备智能监控系统自动生成带时间戳的温湿度曲线报告,支持一键导出,满足ISO17025等国际标准对数据完整性的要求
静音护航:精密温控设备采用EC风机与高效隔音材质,运行噪音<45dB,营造舒适工作环境
灵活架构:按需定制的环境解决方案模块化设计:精密温控设备采用可拆卸铝合金框架结构,支持大型设备现场组装,突破空间限制
按需定制:从温湿度稳定性、洁净度等级到抗微振、防磁、隔音性能,提供全场景非标定制服务 安徽极测(南京)精密温控
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